半導體設備
半導體設備是指在半導體制造工藝中所需要的各種機械設備。包括：擴散設備、光刻設備、刻蝕設備、清洗設備、離子注入設備、薄膜沉積設備、機械拋光設備、檢測設備等。

半導體材料
半導體材料是一類具有半導體性能、可用來制作半導體器件和集成電路的電子材料。包括：硅片、光刻膠、光掩模、電子特種氣體、拋光材料、濕電子化學品、濺射靶材、封裝材料等。